1、什么是RGA？
残余气体分析ResidualGasAnalysis，简称RGA，也称做内部水汽分析InternalMoistureAnalysis，或者IVA(InternalVaporAnalysis)。
正常的空气成分按体积分数计算是：氮(N2)约占78%，氧(O2)约占21%，其它是稀有气体、二氧化碳、水蒸气(H2O)等。密封器件内部气氛对密封电子元器件的性能、寿命和可靠性有重要影响。如果水汽含量过高，或同时还有其它的有害元素，会导致器件失效或性能参数不稳定。
内部气氛中的水汽会加速对电路的腐蚀作用，造成密封腔内部环境的恶性污染，形成电路的短路或烧毁，导致电路失去应有的功能作用以影响电路的正常转换。水汽含量指湿空气中的水汽质量与湿空气的总质量之比，或者某固定容积的水汽体积与该容积之比(ppmv)。测定水汽含量对电子元器件的性能维护具有重要意义。
设备照片2、主要特点
·使用质谱法定量测量金属或陶瓷密封器件内的气体气氛
·密封器件内的气体能影响器件长期可靠性
·反映密封过程质量：密封气氛（氮气），水汽，氧氩比，氟碳化合物，氢气
·测试是破坏性的
3、设备原理
残余气体分析(RGA)所常用的内部气氛分析仪采用的分析方法是分压力质谱分析法。其主要原理是从密封器件内部取样后进行电离，然后采用质谱仪进行质量分离计数，最后给出各种气体的分压比。内部气氛分析方法的基础理论包括气体静力学和质谱分析理论。
内部气氛分析仪由真空系统、取样系统、分析系统、数据处理系统及样品夹具组成。样品刺穿后，利用压力差使样品内的气氛进入分析系统。分析系统为由离子源、分析器、检测器组成的四极质谱仪。离子源将气体分子电离为离子，离子化的分子沿分析器的Z方向进入四极场内，受到X、Y方向电场的作用，实现质量分离，利用检测器测量不同质量的离子的分压强，达到气氛成分分析的目的。
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